2022创新成果展示
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2022全国机械冶金建材行业职工技术创新成果展示活动
二等奖

12英寸集成电路超高纯铜及铜合金靶材制造工艺开发

单位:有研科技集团有限公司

肖长朋 万小勇 曾浩