2022全国机械冶金建材行业职工技术创新成果展示活动
三等奖
集成电路用高纯溅射环件自主化加工
单位:有研科技集团有限公司
主要完成单位：有研亿金新材料有限公司。
主要完成人：张延宾、肖长朋、赵鑫。
高纯溅射环件为集成电路关键材料，在溅射环上施加射频电源后形成高密度等离子区，从靶材逸出的原子在等离子区被电离成带电粒子，不同方向运动的带电粒子在靶材和基板之间的电场作用下都垂直方向沉积于基板上，对深孔沉积效果良好。溅射环还可以吸附溅射过程中产生的颗粒物，防止基板被污染破坏。 本项目通过合理设计，自制滚花、打孔、开口工装，突破了薄壁环状产品加工过程中易变形和滚花难度大等问题，实现了高纯溅射环件完全自
