2022创新成果展示
2022创新成果展示
2022全国机械冶金建材行业职工技术创新成果展示活动
三等奖

高精度防光晕光电玻璃表面抛光工艺

单位:中国建筑材料科学研究总院有限公司

主要完成单位:中建材光子科技有限公司 中国建筑材料科学研究总院有限公司。

主要完成人:李开宇、杨金慧、沈帆帆。

防光晕光电玻璃窗是光电探测器件的核心光学元件,为克服传统抛光中存在的表面质量差、尺寸一致性低、加工效率低等问题,项目组开发了基于双面抛光、化学机械抛光的光电玻璃新型表面加工工艺及自动化检测工艺,极大提高了产品加工精度、生产效率及产品性能,产品尺寸加工精度达到100μm,表面粗糙度达到5nm,产量较成果实施前翻了一番,产品质量一致性和可靠性显著提升,推动了我国高灵敏度光电探测器件的跨越式发展。